所屬類別:FFU凈化單元
產(chǎn)品介紹
FFU(層流罩)具有特點:
第一:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,FFU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風(fēng)。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因為風(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。
第六:FFU凈化過濾單元特別適合于組裝成超凈生產(chǎn)線,可根據(jù)工藝需要布置為單臺使用,也可以將多臺串聯(lián)形成100級流水裝配線。
第七:獨特風(fēng)道(微阻力流線型)設(shè)計
第八:產(chǎn)品出廠前均按美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E逐臺嚴格檢驗,可靠性高。
FFU高效凈化層流罩售后服務(wù)
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2、 本公司免費為用戶提供技術(shù)咨詢及培訓(xùn),解決用戶在使用過程中出現(xiàn)的各種問題。
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